液晶制造装置用精密XYθ平台
规格
行程:690×1, 550mm
尺寸:1,600×1,660mm
定位时间:400msec
最高速度:500mm/sec
真直度(垂直/水平)
X轴:±1.2μm、 ±1.13μm
Y轴: ±2μm、 ±0.63μm
速度稳定性:±0.1%(35mm/sec时)
采样周波数:100Hz
东莞市智赢智能装备有限公司是一家专注于智能装备的设计、研发、生产、销售及服务的高新科技企业。公司坐落于广东省东莞市高盛科技园(国家级科技企业孵化器),以工业机器人、直线电机、DD马达(力矩电机)、精密平台为主导产品,产品广泛应用于微精密激光加工设备、精密测量仪器、液晶面板设备、电子半导体设备、医疗器械等需要精密控制及定位的领域。
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