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  • 2
  • 液晶制造用平台
  • 技术参数:
    行程:690×1, 550mm
    尺寸:1,600×1,660mm
    定位时间:400msec
    最高速度 :500mm/sec
    真直度(垂直/水平)
    X轴:±1.2μm、 ±1.13μm
    Y轴: ±2μm 、 ±0.63μm  
        速度稳定性 :±0.1%(35 mm/sec时)
    采样周波数:100Hz